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成像
系统
鸿鹄显微自动对焦成像系统

大视野显微系统,最大支持像方40mm,完美适配8K/5um和65M相机
高分辨率显微系统,物方最高分辨率可达0.4um
集成同轴激光追焦系统,可实现对高速运动成像实时对焦
可选配高速图像对焦系统,解决复杂背景情况下激光无法准确聚焦的问题
同轴科勒照明,外接点光纤及高亮冷光源,可支持面阵相机曝光时间5us以内
推拉式高精度切换器也可支持像方40mm大视野
可定制暗场照明角度,适应不同应用场景

鸿鹄显微自动对焦成像系统

  六大模块

 

 

万博全站APP最新版为您提供一幅特征明显的图像


为了满足不同应用场景及项目需求,鸿鹄显微系统采用模块化设计,搭积木形式自由组合,为您提供灵活的解决方案。
一幅特征明显的图像可归功于独特的光学设计,从而有效减轻图像算法开发难度,提高特征识别率。

 

 

 

 

  配置选型

 

系统模块 类别 配置信息
镜筒模块 主镜筒 大视野镜简 高分辨率镜筒 LCD镜筒
光路数 单/双光路 单光路
适配相机 芯片长度/对角线40mm 芯片长度/对角线28mm
工作波长范围 430-670nm 420-1300nm 430-670nm
管镜焦距 180 200 180
物镜模块 大视野物镜 2X/5X/10X/20X / /
高分辨率物镜 / 5X/10X/20X /
近红外物镜 / 5X/10X/20X/50X /
标准物镜 / / 2X/5X/10X/20X/50X
对焦模块 激光对焦 对焦方式 同轴激光自动对焦系统
对焦精度 静态:1/4物镜景深、动态: 1/2物镜景深
对焦速度 实时追焦
图像对焦 对焦方式 与成像相机共用光路
对焦精度 1/3倍物镜景深
对焦速度 对焦速度可达2500um/s,常规对焦时间0.3s-1s
Z轴模块 整体式 整套系统重量小于9kg、重复定位精度±0.5um、行程±25mm
分离式 整套系统重量大于9kg、重复定位精度±0.15um、行程±5mm
切换器模块 推拉式 高精度版本:重复定位精度:±0.15um、切换速度:60-100mm/s、支持2-7孔物镜切换
低精度版本:重复定位精度:±2um、切换速度:10-20mm/s、支持2-7孔物镜切换
转盘式 重复定位精度:±2um、切换速度:60-100mm/s、支持2-7孔孔物镜切换
DIC转盘式 重复定位精度:±2um、切换速度:60-100mm/s、支持5-6孔物镜切换,带DIC功能
光源模块 明场 内置集成LED明场照明/外置点状光纤明场照明
暗场 外置环形光纤暗场照明

 

 

 

 

  物镜参数

 

品名 型号 数值孔径NA 工作距离WD(mm) 分辨力(um) 景深(um) 管镜焦距(f=) 支持最大有效视野(mm)
大视野物镜
(像方支持40mm)
    LSAPO-2X40 0.07 32.0 4.0 56 180 18.0
    LSAPO-5X40 0.15 36.0 1.8 12 180 7.2
    LSAPO-10X40 0.28 32.0 1.0 3.5 180 3.6
    LSAPO-20X40 0.42 20.0 0.7 1.6 180 2.0
高分辨率物镜
(像方支持28mm)
    LSAPO-5X28HR 0.21 25.0 1.3 6.2 200 5.0
    LSAPO-10X28HR 0.42 15.0 0.6 1.5 200 2.5
    LSAPO-20X28HR 0.52 10.0 0.4 1.1 200 1.2
近红外物镜
(像方支持28mm)
    XYAPO-5XNIR 0.15 44.9 2.5 18 200 5.0
    XYAPO-10XNIR 0.30 33.9 1.0 3.5 200 2.5
    XYAPO-20XNIR 0.45 20.1 0.7 1.6 200 1.2
    XYAPO-50XNIR 0.65 9.4 0.4 0.55 200 0.5

 

 

 

 

  五大观察方式

 

                             

 

             

 

 

 

 

  照明模块

 

       

 

控制器光源分离式设计,可以快速灵活构建满足用户特殊需求的照明系统
支持外部触发、控制光源频闪发光
可根据客户需求搭载电动滤光转换,定制滤光片
长时间保持稳定的光输出,使用寿命超过20000小时 
                                                                  

 

控制器型号代码说明

 

PMC - 60048 2 - LSE
模组控制器   电参数 输出通道数   通讯方式

 

 

灯箱型号代码说明

 

M - PLF - 200 W/FC
模组   光纤光源   电参数 白色/滤光转换器(可选)

 

 

控制器技术指标

 

          型号 PMC-60048-2-LSE
          发光方式 常亮发光
          驱动方式 恒流
          调光方式 调节电流
          通道数 2通道
          输入电压 AC100~240V  50/60Hz
          触发方式 外部触发(双向输入,不分极性)
          触发输入电压 DC5~24V(2.9-29.7mA)
          触发输出电压 DC12V(10mA)
          输出总功率 600W
          输出电压 DC48V
          单通道输出电流 12A MAX
          触发响应时间 1us MAX
          频闪发光时间 0~999可调节(时间单位可选)
          发光延迟时间 0~999可调节(时间单位可选)
          触发输出时间 1~999us可调节
          触发输出延迟时间 0~500us可调节
          亮度等级调节 0~999可调节
          重量(kg) 4.2
          外形尺寸(mm) 305.6×222.2×137
          使用环境 温度-10~50℃ 湿度20~85%RH(无结霜状态)
          存储环境 温度-20~60℃  湿度20~85%RH(无结霜状态)
          冷却方式 风扇冷却
          材质 · 表面处理 SPCC表面喷漆处理
          通讯方式选择 RS-232 & 百兆网 两种方式

 

 

灯箱技术指标

 

          型号 M-PLF-200W M-PLF-250W M-PLF-270W
          适配光纤通光孔径 Ø6~Ø10mm Ø6~Ø10mm Ø9~Ø14mm
          配光角 全角30° 全角25° 全角30°
          发光颜色 白光/色轮转换(可选) 白光 白光/色轮转换(可选)
          相关色温 6500±500K 6500±500K 6500±500K
          驱动方式 恒流驱动 恒流驱动 恒流驱动
          输出功率 200W 250W 270W
          输入电压 DC48V DC48V DC48V
          触发方式 内部触发/外部触发 内部触发/外部触发 内部触发/外部触发
          触发输入电压 DC5-24V DC5-24V DC5-24V
          重量(kg) 4.2 6.5 4.5
          使用环境 温度0~50°C,湿度20~70%RH(无结霜状态) 温度0~50°C,湿度20~70%RH(无结霜状态) 温度0~50°C,湿度20~70%RH(无结霜状态)
          通讯方式 RS-232&百兆网 RS-232&百兆网 RS-232&百兆网
          建议照明方式 明场照明 暗场照明 明场照明 明场照明 暗场照明
          配套光纤型号*1 FOHS-GS-P1309-1.5 FOHS-GS-R2040-1.5 FOHS-SS-P1309-1.5 FOHS-GS-P1309-1.5 FOHS-GS-R2040-1.5
FOHS-SS-P1309-1.5 FOHS-SS-P1309-1.5
          光纤转接口型号 ST-M-PLF-20-A1-008 ST-M-PLF-200-A0-013 ST-M-PLF-21-A0-007 ST-M-PLF-270-A0-013 ST-M-PLF-40-A0-008
          建议匹配延长线 FCB-6PIN-6C-P-3/FCT-12PIN-12C-3 FCB-6PIN-6C-P-3/FCT-12PIN-12C-3 FCB-6PIN-6C-P-3/FCT-12PIN-12C-3

*1   可根据需求定制光纤,型号中GS表示玻璃光纤、SS表示石英光纤

 

 

 

 

  单片晶圆的扫描时间

 

倍率 大视野2X 大视野5X 大视野10X
线阵相机 8K/5um  250K行频TDI线阵相机 8K/5um  250K行频TDI线阵相机 8K/5um  250K行频TDI线阵相机
运动速度 600mm/s 250mm/s 125mm/s
成像精度 2.5um 1um 0.5um
有效视野 18mm 7.2mm 3.6mm
扫描时间 4寸:10s 4寸:20s 4寸:40s
6寸:15s 6寸:30s 6寸:70s
8寸:20s 8寸:40s 8寸:125s
12寸:30s 12寸:75s 12寸:270s

 

说明:1、运动速度指不同倍率在对应速度下均能稳定成像,无失焦现象
          2、因为相机行频已经满载,以上速度不是自动追焦系统的极限
          3、扫描时间只包含采图过程,不包含上下料和图像算法处理时间

 

 

 

 

  应用案例

 

硅基Si    有图晶圆 / 无图晶圆 / 掩膜版

 

化合物半导体    碳化硅SiC / 氮化镓GaN / 蓝宝石

 

传统显示    LCD / OLED

 

新型显示    Mini LED / Micro LED

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